真空設備部件維修

描述

RPSC維修服務

維修內容

• 易損零部件替代：
  等離子體Block跟隨供應“ PM KITS”至翻修RPS/RPSC Assy
  PM KITS包括作為FKM o’ring,陶瓷的,散熱墊等等.
• 修復PCB：故障電子零件
• 功能測試
  > 點火循環測試100次
  > 過程老化測試
  > 功率範圍測試
  >漏水試驗/Block洩漏試驗
  > 微粒測式
  > 壓力範圍測試
• 保證 6個月

  

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RF Generator維修服務
維修機型
ADTEC RF Generator
Daihen RF Generator
Kyosan RF Generator

ADTEC Generator

Kyosan Generator

Daihen Generator

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Matching Box維修服務
維修機型

AMT MATCH	H.E-PVD	Novellus	Etch	AM-2000-NVL
	H.E-MXP+	TEL	Etch	MWD-25LD-02
	P4-DPS			MWD-25LD-06
	P4-CVD	ASM	CVD	AM-1000S-ASM
	P4-MXP			AMV-1000ASM
	P4-MXP+			AM-2000S-M
	Encore Vectra	MATTSON	Etch	AMU Series
LAM	Top Match			RFS Series
	Bottom Match
Daihen Match	RMN-50 Series
	RMN-100 Series
	RMN-200 Series
AKT	AKT-Series
Kyosan Match	MBK-Series
	BJK-Series

 

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Compressor維修服務

• CTI
  8200、 8300、8500(可維修oil pump)、 8510 (可維修oil pump) 、9600、9700A 、 SC、SCW
• ULVAC
  C10、C15V、C15U、C30、C30V(R)、 C30MV(R)、C39PV(RT)、C31MT
• ANELVA
  CRC-874 、P-421CA 、P421CAA、 P421CH 、P875CA、P876CA-A
• SHI
  HC-10L、CSW-7
• LEYBOLD
  CM+CR
• HOTVAC
  T8W

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Vacuum valve overhaul維修服務

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APC Pendulum Valve維修服務